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本論文使用分子動力學模擬(molecular Dynamics, MD)模擬原子鎢/鎳濺鍍在銅基材，探討薄膜的成長機制與成長形貌，並且使用粗糙度及覆蓋率來評估薄膜品質，而模擬的濺鍍製程參數包括基材的…
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本實驗利用射頻磁控濺鍍法於低溫下成長具半導體特性之非晶質奈米碳棒，其形貌不同於一般使用濺鍍法成長之薄膜。本實驗從兩方面來對成長奈米碳棒做探討，首先，我們於不同溫度下成長奈米碳棒，並觀察其表面形貌及結…
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本研究主要是探討以射頻磁控濺鍍(RF magnetron sputtering)之系統，搭配由附有析出奈米銀顆粒之奈米二氧化鈦粉體所自行製備之陶金靶材，於無加熱的基板上，以80 W功率濺鍍60分鐘，…
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在本論文中我們使用射極-濺鍍沉積參鎢氧化銦以及氫化氧化銦之透明導電膜，期望能利用該等材質較高的功函數以及光學透過特性應用於矽晶異質接面太陽能電池的製作上，以獲得較佳電池轉換效率之表現。實驗結果顯示，…
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本研究利用反應式離子束濺鍍法沉積氧化鈷與摻銅氧化鈷薄膜，改變氧氣/氬氧的流量比例(Opf = O2/(Ar+O2))及沉積溫度，探討製程參數對氧化鈷及摻銅氧化鈷之影響。研究結果顯示在室溫下所沉積之樣…
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由於石墨烯在各方面的應用上皆表現出驚人的特性，人們對於石墨烯的研究及應用越來越重視，甚至有學者將它稱為能夠改變21世紀之材料。 本研究係使用PVD濺鍍配合高溫氧化及真空高溫處理之製程來製造石墨…